第45章 信不信我揍你
“不管这些了，我有两个方法来提高DUV光刻机的制程，再说一遍，这两个方法先期不能申请专利，而且要超级保密。光刻机的演进过程就是光源改进和工艺创新。第一个方法就是缩短波长。但193nm波长可以说是极限了，157nm波长就是个坑。
那怎么缩短波长呢，答案就是改变光的传输介质，现在光刻胶和曝光镜头之间的介质是空气，我们需要把空气换成液体。这种方式称为浸没式或者叫湿式。这种方法早已有人提出来了，但他们使用的是油，缺陷很多，无法推广，这个方法就被废弃了。
但这个液体换成水的话，那所有大的问题就不存在了，剩下的小问题都是可接受可改进的。这个方法能很容易地击穿157nm的限制。这里呢，咱们不要暴露这种方法，反而要挖坑，要引导他们相信咱们已经攻克了157nm的光刻机。”
“这怎么可能，光刻机研发出来就是要卖的啊，必须接受市场检验，人家一看就露馅了。”
“这么死心眼呢你，咱们不卖光刻机，咱们可以做代工工厂啊，让他们设计芯片，咱们代理加工。就算咱们的技术底子差，成本高，但咱们人力成本低啊。只要代工个一两年，技术越来越成熟。通过代工合同，可以要求合作方同步建立晶圆厂，提供次一级制程的光刻机，就说要把低端芯片业务转移过去，才能加大高端芯片的产量。咱们有了更先进的光刻机技术，那些低一档次的光刻机就不会禁运了。等拿到了更多的光刻机就能通过浸没式工艺改进来达到下一代的制程，半导体行业的囚笼就被彻底打破了。”
“你是让我去演戏，去吹牛？”
“对，演戏吹牛放卫星。怎么高调怎么来，如果有人质疑，那就拿产品狠狠打他们脸。”
“这难度有点高啊，我这个岁数。”
“你这岁数怎么了，活到老学到老啊，不行你就去燕影找顾校长报个短期表演班学习学习？”
“信不信我揍你，仓小子，你是真坏啊。不过，这么爽的事情，你怎么不干呢？”
“我不能干，我还要做消费类电子产品呢，别到时侯被人家封杀了，到时候我就没地方哭了，你老目标大，站在前面吸引火力真挺好的。这个代工工厂直接以清大的名义办，搞成私企，别做国企。资金的话，我有几个离岸私募基金，到时候给你投资点儿，国家也会通过其他渠道给你资金，贷款也好，免税也好，都好办。”
“那国家要买光刻机怎么办？其他国内企业要买怎么办？”
“怎么办？凉拌啊。国家买的话就拖，拖不过去了就派人派机器过去封闭式生产，挂国企的名义好了，正好专供军方。其他企业理他们干什么？有钱就让他们搞晶圆厂去，半导体行业那么多领域哪个都可以突破，都可以挣钱。”
“不错，优先供应国内，国外可以代工，但得提条件，晶圆厂啊，光刻胶啊，专利授权啊，都到我的碗里来。”
“霸气，就是这样，老杨，我看你不光能当校长，你还能当华夏半导体之父啊。”
“哈哈，当不起，当不起，都是你的主意，我觉得你比较适合当这个华夏半导体之父。”
“当不起，当不起，我年纪这么小，可当不了爸爸。到时候您老坐拥上万亿产值的代工工厂，研发费用大把大把砸下去，咱们的半导体行业就崛起了。”
“不对，刚才光顾高兴了，你不是说两个办法吗？另一个呢？”
“这一个就足够了吧，另一个我要保密，我得留着当杀手锏啊，回头等你光刻机生产好了，我要买几台，我还得自己生产呢，回头咱们两家公司竞争，你这才有动力继续前进啊。”
“赶紧说，磨磨唧唧的，像个啥？”
“别说，你可别说，说了和你急，我还告你性别歧视。唉，也不知怎么了，我居然进入第二次变声期了，可嗓子没变粗，居然能男女音转换了，难道我就是传说中的阴阳嗓？”
“说吧，说了，我记着你的好，国家也记着你的好，必有回报。”
“有什么回报？口头上的没用啊，来点实际的。不如你把你们学校的校花给我介绍两个？”
“不认识，我不认识几个学生，这样吧，我也给你来个副校长，回头你去学校里自己找吧。只要你告诉我了另一个方法，你这功劳可就大了去了，犯点什么事，我都能给你兜着，只是一样，不能强迫。”
“得，就这么说定了，我作为七校副校长，怎么会强迫女生呢，我这么高，这么富，这么帅，我还害怕她们强迫我呢。不开玩笑了，第二个方法呢，就是双重曝光和双重图案，我给您打个比喻，一队男生间隔50公分站定，一队女生间隔50公分站定，然后把让一队间隔插队，那他们之间的间距就变成了25公分。通过双重曝光，光刻机可以达到更先进的制程。”这里仓耀祖还是藏了一小手，那就是英特尔最拿手的自对准双重图案(SADP)技术以及SADP加倍而得的四重图案化工艺(SAQP)，英特尔可就是凭借这个技术吊打AMD和台积电的。毕竟现在的制程完全用不到这么复杂的工艺，这算是基于双重曝光的更进一步的工艺改进。
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